- 3 种频率选件：1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz，可升级
- ±0.65% 基本精度和 120 m? 至 52 k? 阻抗范围（10% 测量精度范围）
- 测量参数：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1（1. 需要选件 001）
- 内置直流偏置（选件 001）：0 V 至 ±40 V，0 A 至 ±100 mA
- 10.4 英寸彩色 LCD 触摸屏可显示 4 个通道和 4 条迹线
- 数据分析功能：等效电路分析、极限线测试
- 介电/磁性材料测量（选件 002）：|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
- 提供温度特征测量（选件 007）和可靠的晶圆上测量（选件 010）
